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提升纳米位移台的重复运动准确度，关键在于降低系统误差、机械误差以及环境干扰。以下方法可显著提高重复定位能力，适用于压电、步进、电机混合型位移台。
提升位移台重复运动准确度的方法
开启闭环控制
使用光栅尺或电容式反馈传感器，由控制器实时修正位置误差，可显著提升重复定位精度。
减少回程误差（Backlash）
固定运动方向，例如定位时尽量“同向接近目标”；避免来回切换方向导致机械间隙误差放大。
优化加减速参数
设置平滑加速/减速，减少过冲与震荡，提高每次到位的稳定性。
降低移动速度
慢速模式更易稳定停靠，有助于提高重复到位一致性，尤其在纳米级定位中效果明显。
减小环境干扰
使用减震平台，远离泵或风扇；保持温度稳定，减少热膨胀导致的重复性漂移。
预热与稳定时间
位移台和控制器预热后性能更稳定；每次到位后可加入短暂停留，让系统完成收敛。