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在使用纳米位移台进行定位时，超行程不仅会导致定位误差，还可能损坏设备。因此，避免超行程操作是保证位移台安全和实验可靠性的关键措施。
纳米位移台避免超行程操作的方法
设置软件行程限制
在控制软件中设定每个轴的最大和最小允许坐标，软件会自动限制运动。
启用硬件限位开关
物理限位开关或感应器可在接近极限位置时自动停止运动。
逐步移动和分段扫描
对长行程操作，可分多步移动，每步不超过安全范围。
预先检查当前位置与目标位置
在运动前确认目标坐标在允许行程范围内，避免误操作。
使用急停或安全停止功能
设置紧急停止按钮，出现异常时立即切断电机驱动，保护设备。