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在纳米位移台进行长距离移动时，各种误差会随着行程放大，影响位置精度。理解误差来源有助于优化控制方式与实验设置。
纳米位移台长距离移动的误差来源
传感器线性度不足
电容、光栅或应变片反馈在大范围内线性下降，导致位置反馈偏移。
压电材料的迟滞与非线性
指令与实际位移不完全同步，长行程时误差累积更明显。
步进式结构的累积步差
每一步的微小偏差在长程运动中不断叠加，造成明显位置误差。
机械导轨误差
导轨直线度不完美、摩擦变化或微间隙，会让运动路径产生偏移。
控制系统响应不足
控制带宽或 PID 参数不适合大位移，反馈补偿滞后导致偏差。
温度变化带来的漂移
环境温度影响压电材料和传感器零点，使长距离移动出现额外误差。