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纳米位移台的位置反馈信号若出现异常，通常来自传感器、连接、环境或控制参数等问题。以下是精炼且带首段的排查要点。
纳米位移台的反馈信号须稳定可靠，一旦出现异常，会直接影响闭环控制精度，因此应按由外到内的顺序进行快速检查。
1. 检查连接与线路
确认传感器线缆是否松动、弯折或接触不良。
清洁接口，避免灰尘、金属屑或油污导致信号干扰。
2. 查看传感器工作状态
判断电容式、光栅式或应变式传感器是否受温度、湿度或震动影响。
检查是否存在超量程导致输出饱和或信号中断。
3. 排查电气噪声干扰
关闭周边强噪声设备（电机、电源、泵等），观察信号是否恢复。
查看接地是否稳固，避免地环路造成漂移或抖动。
4. 检查位移台自身运动情况
确认导轨是否卡滞、摩擦增大或存在异物。
若出现小幅跳动，可能是压电堆或驱动器响应不稳定。
5. 控制器参数验证
检查增益参数是否被误改，尤其是闭环增益与滤波设置。
恢复到默认控制参数以排除设置问题。
6. 环境与温漂因素
温度变化过大可能导致电容传感器漂移。
高频震动会让反馈信号呈周期性波动。