
纳米位移台运动方向切换的误差来源
在纳米位移台中,运动方向切换时常会出现定位偏差或瞬态误差,这是影响重复定位精度的重要因素。
机械间隙与反向间隙
传动结构中的微小间隙在换向时被重新“吃掉”,导致位置滞后。
摩擦特性不对称
静摩擦与动摩擦差异,使得换向初期出现爬行或跳动。
驱动与控制滞后
控制器在方向切换时存在响应延迟,指令与实际位移不同步。
传感器与反馈误差
位移传感器零点漂移或噪声,会在换向瞬间放大误差。
结构与环境影响
结构柔性、温漂或外界振动,在换向时更容易引起瞬态偏移。