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纳米位移台在微步启动时出现抖动，通常是由控制、机械和摩擦等因素共同引起的。
静摩擦与动摩擦差异
初始微小运动需克服静摩擦，摩擦力不均会导致抖动或跳动。
驱动器分辨率限制
步进或压电驱动的最小步长与目标微位移接近时，控制器输出可能不平滑，引发瞬态抖动。
控制参数设置不当
增益过高或滤波不足，会使微步响应过度补偿，出现振荡。
机械间隙或柔性
导轨、连接件或载荷偏心导致微小运动被放大，抖动明显。
外界振动或载荷影响
台面振动或负载质量变化，在微步运动阶段易产生相对运动。