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纳米位移台单轴控制方式

纳米位移台的单轴控制方式,是指只对某一方向(X、Y 或 Z 轴)进行独立精密控制,常用于线性扫描、定位或标定场景。
开环控制
仅依赖驱动指令控制位移,不使用位置反馈。
结构简单、响应快,但精度受温漂和负载变化影响较大。
闭环控制
通过位移传感器实时反馈位置,与目标值比较后修正输出。
精度和重复性高,适合高稳定性和长期运行需求。
位置控制模式
直接给定位移目标值,系统自动完成定位。
常用于定点测量或重复定位。
速度 / 扫描控制模式
按设定速度或步距连续移动。
适合线性扫描和数据采集应用。