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纳米位移台位置读取方式

纳米位移台的位置读取方式,用于获取实际位移信息,是实现精密定位和闭环控制的基础。不同读取方式在精度、响应和稳定性上各有特点。
内置传感器读取(闭环)
通过电容式、应变式或光栅传感器实时测量位移。
精度高、重复性好,适合纳米级定位与长期运行。
驱动指令推算(开环)
根据驱动电压或步数推算位置。
结构简单,但易受温漂、负载和非线性影响。
外部测量设备读取
使用激光干涉仪或外置位移传感器独立测量。
精度高,常用于校准和性能评估。
软件显示与数据记录
控制软件实时显示位置反馈,并可同步记录数据,便于分析与追溯。