
纳米位移台单步移动设置
纳米位移台的单步移动设置,用于实现可控的最小位移操作,常见于精细对准、扫描起始点调整和重复定位测试。
设定单步步长
在控制软件中设置最小移动距离或步进分辨率。
步长应大于系统噪声和分辨极限,避免无效指令。
选择控制模式
开环模式下,单步由驱动分辨率决定。
闭环模式下,单步由反馈分辨率与控制参数共同决定。
配合速度与加速度
单步移动通常需较低速度和加速度,以减少启动抖动和过冲。
验证实际位移
连续执行多次单步移动,检查反馈位移是否一致。
若单步不稳定,应调整增益或步长设置。