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纳米位移台运动出现不线性，意味着实际位移与控制指令不完全对应，会影响精度和重复性，需要从控制、机械和环境多方面排查。
机械原因
导轨、螺杆或连接件存在间隙、磨损或偏心，容易导致非线性运动。
检查机械部件，必要时清洁、紧固或更换。
驱动与控制参数
步进驱动器或压电控制器增益、滤波不当，会引起响应非线性。
可通过调整控制增益、减小微步步长或优化加速度曲线改善。
负载与惯性影响
非均匀或过重负载在启动、停止或方向切换时，会产生滞后或超调。
减轻负载或平衡重心，有助于改善线性度。
温漂与环境因素
长时间运行、摩擦热或温度变化会导致结构膨胀，影响运动线性。
控制环境温度或让设备预热稳定，可减轻误差。