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纳米位移台能否做等速扫描

纳米位移台可以实现等速扫描,但需要合理的控制方式和参数设置。
在闭环控制条件下,位移台可通过速度控制或位置插补,实现一段稳定的匀速运动区间,常用于表面轮廓扫描、显微成像或同步信号采集。等速扫描通常出现在加速完成后的中间行程,而不是整个运动过程。
需要注意的是,起始和结束阶段不可避免存在加减速段,真正的等速区应避开行程两端。扫描速度过高,容易引入跟踪误差和振动;速度过低,则可能受温漂和噪声影响。
负载大小、安装方向和控制器性能也会影响等速效果。负载越大或竖直安装,对速度稳定性要求越高,参数应更保守。
总体来看,只要采用闭环控制、设置平滑加减速曲线,并在中间行程进行数据采集,纳米位移台是可以稳定实现等速扫描的。