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纳米位移台微小位移“走不出来”，一般不是坏了，而是位移已经被系统的各种非理想因素淹没了，常见原因集中在驱动、控制和机械三方面。
常见的是驱动分辨率不够。指令位移已经小于驱动器或控制器的最小输出步长，电压或脉冲虽然在变，但不足以克服系统阻力，实际位移为零，看起来就像不动。
其次是静摩擦和预紧力影响。微小位移时，驱动力刚好卡在静摩擦区间，位移台需要“积累”到一定能量才会突然动一下。这在低速、小步进时非常明显。
如果是压电位移台，迟滞和蠕变也是关键原因。很小的电压变化并不会立刻转化为可测位移，尤其在开环状态下，指令变化被材料非线性直接吃掉了。
控制参数不合适也会导致这种现象。PID 增益偏低或积分作用太弱，系统在微小误差区间不去主动纠偏，控制器认为“已经到位”，但实际位置还没变化。
还有一个容易被忽略的问题是传感器分辨率。位移确实发生了，但已经低于传感器或显示分辨率，看起来就像没走，尤其在纳米级以下时很常见。