新闻

纳米位移台在做直线运动时出现偏移，是典型的精密运动误差问题，通常不是单一原因，而是机械、控制和环境因素共同作用的结果。可以从以下几个角度分析和处理：
机械因素
导轨或丝杆间隙：机械间隙、回差或导轨不平直，会导致台体在正向移动时偏离理想直线。
柔性铰链或支撑结构变形：载荷、惯性或台体重量造成微小弯曲，尤其在长行程或高速运动时更明显。
摩擦不均：正反方向摩擦力不同，运动时容易出现微小偏移。
控制因素
闭环控制不足：如果是开环驱动，控制器只按指令运动，不知道实际偏离，会直接导致直线偏移。
PID 参数不合适：增益过低或积分/微分设置不合理，会让控制系统无法及时纠正横向偏差。
耦合效应：多轴位移台间存在交叉耦合，例如 X 运动引起 Y 方向微动，需要软件补偿或多轴校准。
环境因素
温度变化：台体或支撑件热膨胀，长行程运动时偏移累积。
外部振动：微振动或桌面抖动会叠加到微米/纳米级运动上，表现为直线偏移。
负载偏心：样品重量或抓取装置偏心，会让台体沿不受力方向微偏。
解决方法
机械优化：检查导轨、丝杆、铰链，减小间隙和摩擦不均；保证载荷居中，支撑刚性足够。
控制优化：启用闭环控制，调节 PID 参数，增加前馈或耦合补偿。
环境控制：保持恒温、防振、减少外界扰动。
标定与补偿：通过标定直线轨迹，建立误差补偿表或软件补偿，针对特定行程修正偏移。