
纳米位移台扫描时边缘变形怎么回事
纳米位移台在扫描时出现边缘变形,通常不是图像算法的问题,而是运动与控制特性在扫描端点被放大导致的,常见原因有这些:
方向切换与加减速影响:扫描到边缘时位移台需要减速、停顿或反向,加速度突变会引入惯性误差,边缘位置最容易拉伸或压缩。
闭环控制延迟:传感器反馈和控制器响应存在时间滞后,扫描中心段还能跟上,到了边缘指令变化快,就表现为位置跟踪误差。
扫描轨迹非线性:压电或柔性结构在行程两端非线性更明显,导致边缘位移与指令不再成比例。
共振或机械柔性:扫描频率接近系统固有频率时,端点会出现振铃,图像边缘就会发生弯曲或重影。
采样与触发不同步:位置还没稳定就开始采样信号,尤其在边缘区域,会把动态误差“拍进”图像里。