新闻

纳米位移台位置回读值抖动很大，通常不是单一原因，而是传感器、控制、机械和环境噪声叠加的结果，常见情况有这些：
位置传感器噪声：电容、光栅或干涉仪本身存在本底噪声，分辨率越高，抖动看起来越明显。
电磁与接地干扰：驱动器、电机、电源或附近设备耦合进传感器信号，回读值会高频跳动。
控制参数过激：闭环增益过高，控制器在“追噪声”，导致位置不断来回修正。
机械微振动：地面振动、风流、泵振动或台体刚度不足，都会直接反映到回读信号上。
热漂移与应力释放：温度缓慢变化或内部应力松弛，会叠加在高频抖动之上。
采样与滤波设置不当：采样频率过高、滤波过弱，会把无意义的高频噪声完整显示出来。