新闻

压电驱动型纳米位移台普遍存在迟滞现象，在正向移动与反向回扫相同指令坐标时，实际物理位置不一致，形成位置偏差。迟滞属于压电材料本身固有特性，压电陶瓷在施加、撤销驱动电压过程中，晶格形变无法完全同步跟随电压变化，电压升降路径对应的位移曲线不重合。在往复扫描作业时，同一电压值，正向行进和反向回扫得到的实际位置存在差值，扫描轨迹发生偏移，在大面积连续扫描、图形拼接任务中，该偏差会不断累积，造成图形错位、形貌轮廓失真。
迟滞的大小和驱动行程、扫描速率、负载重量密切相关。扫描速度越快，迟滞效应表现越明显；负载超出额定范围，会进一步加剧形变滞后。不同品牌型号位移台的压电陶瓷材质、驱动控制算法性能参数不同，迟滞量差别较大，部分设备内置迟滞补偿算法，可以一定程度抵消该效应，但无法做到完全消除。长时间持续往复运动，压电元件老化也会使得迟滞特性缓慢发生变化。
改善迟滞带来的扫描偏差，可结合控制算法、扫描参数与负载管理综合调整。优先启用设备内置迟滞补偿功能，通过预标定位移 – 电压曲线，在下发驱动信号时做预补偿。工艺操作上，降低往复扫描速率，给压电形变留出响应时间，减小动态迟滞；扫描前预留预扫行程，提前完成压电预形变。负载方面严格按照额定负载配置，避免超载，减少附加形变带来的额外误差。定期做位移标定，重新采集位移电压曲线，更新补偿参数，抵消元件老化带来的迟滞变化，提升双向扫描的位置一致性。