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纳米位移台依托压电陶瓷的逆压电效应实现精细进给，在连续扫描运动过程中，压电激励信号的变化速率会直接改变平台的响应表现。当驱动信号处于低频区间，形变能够充分跟随电压变化，位移输出相对平稳；随着驱动频率不断抬高，压电元件自身的机械阻抗、弹性导向结构的惯性开始显现，位移输出与驱动电压之间逐步产生相位滞后。整套运动结构存在固有的机械共振频段，一旦工作频率靠近共振点，位移输出就会出现明显的幅值抬升与振荡，即便输入平滑的扫描波形，实际运动轨迹也会叠加周期性扰动。不同品牌、不同行程规格的纳米位移台，压电堆叠封装方式、弹性铰链的材质与几何参数存在差异，对应的共振频率与阻尼特性各不相同，也使得同一路驱动信号作用在不同型号平台上，得到的运动轨迹存在明显区别。