怎样减少纳米位移台在高速运动时的振动？
减少纳米位移台在高速运动时的振动是保证其高精度、稳定性和可靠性的关键，尤其在进行精密成像、定位或扫描时。以下是一些减少振动的有效方法：
一、优化运动轨迹
平滑加速和减速
避免剧烈的加速和减速，因为这些变化容易引起瞬时高频振动。
使用S型加速/减速曲线，逐渐调整速度，避免陡峭的加速阶段，减少由于惯性带来...
纳米位移台在长时间运行中会出现漂移吗
纳米位移台在长时间运行中确实会出现漂移现象。这是高精度定位系统中的一个常见问题，尤其是在要求纳米级稳定性的应用中（如扫描探针显微镜、曝光、光学对准等）。
一、什么是“漂移”？
“漂移”是指：
在没有指令或控制信号变化的情况下，位移台的输出位置随时间缓慢发生偏移。
它可能是几纳米/秒，也可能在数分钟内累积到...
纳米位移台为什么在高速运动时会出现自激振荡现象？
纳米位移台在高速运动时出现自激振荡（self-excited oscillation），主要是因为系统的动态特性和反馈控制机制在高速度条件下激发了某些本征频率或不稳定模态。
我们来详细解释一下其中的原理、原因，以及如何预防这种现象：
一、什么是自激振荡？
自激振荡是指：
系统内部由于结构特性或控制系统设计不当，在没有外部周...
为什么纳米位移台需要防震隔振？
纳米位移台之所以须进行防震隔振，是因为它的工作精度非常高，通常在纳米级甚至亚纳米级别，任何微小的震动都会直接干扰其正常运行和定位精度。
下面是详细原因解释，帮助你从原理上理解为什么“防震”对纳米位移台至关重要：
一、纳米级精度易被微振动影响
纳米位移台常用于精密扫描、定位、对准、成像等工作（如在原子力...
纳米位移台动态扫描过程中如何减小漂移误差？
纳米位移台在动态扫描过程中会受到各种干扰因素引起的漂移误差（drift error），例如温度变化、机械松动、控制延迟、电气噪声等。下面是一些系统性方法，用于减小漂移误差，提升扫描精度和稳定性：
一、控制层面：优化控制系统
1. 使用闭环控制系统
配置电容式、应变片或干涉仪等高分辨率传感器，构成闭环反馈；
实时修...
安装纳米位移台对平台水平有什么要求？
安装纳米位移台时，对平台的水平度有一定要求，这是为了保证其高精度定位性能和长期稳定性。以下是常见的要求和建议：
一、平台水平度的基本要求
水平度误差建议小于 0.1 mm/m（或0.01°）
对于高精度纳米位移系统，平台表面应尽量保持水平，以避免：
重力对运动部件产生横向分量，影响精度；
造成负载不均，影响传动系统...