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纳米位移台初次使用前必须进行校准，以确保运动精度、重复性和系统可靠性。正确的校准步骤可避免长期使用中的累积误差。
机械检查
检查导轨、螺杆或压电驱动器是否清洁、无异物。
确认紧固件、支撑件稳固，无松动或偏心。
电气与控制检查
确认电源、控制器、传感器连接正常，信号无噪声。
检查闭环反馈系统是否启用且响应正常。
零位设定
将位移台移动到机械或光学零位（Home），确保各轴原点对应控制器坐标零点。
范围与极限测试
缓慢移动各轴至最大行程，确认无卡滞、超程或异常摩擦。
测量各轴实际行程与标称行程是否一致。
速度与加速度校准
设置初始低速移动，观察响应平稳性。
逐步增加速度和加速度，确保运动连续且无振荡。
反馈与重复性验证
选择参考点，进行多次往返移动，记录位移反馈值，计算重复定位误差。
必要时调整闭环增益或滤波参数，以优化重复精度。
环境与载荷确认
确认安装环境稳定，振动小。
初次校准时使用标准负载或无负载，以减少惯性和摩擦误差影响。